Metrología de película delgada

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Metrología de película delgada

La metrología mediante rayos X es la herramienta ideal para el análisis de películas delgadas de semiconductores compuestos en aplicaciones de desarrollo y producción en masa de dispositivos optoelectrónicos y microelectrónicos con estructuras en capas epitaxiales. Las herramientas de medida basadas en métodos de rayos X como DRX y FRX han demostrado ser muy eficaces para la investigación externa de los parámetros de los materiales de capas epitaxiales, heteroestructuras y sistemas de superredes.

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